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  • 無塵室 無塵車間運轉與維護管理

    作者:凱時首頁登錄建設工程 發表時間:2019-05-18 瀏覽量:475 來源:www.wm-home.com

    超淨工作台 淨化工作台 無塵室 無塵車間運轉與維護管理員進出無塵室須予於規範管理外,願物料及設備之進出也必須經過潔淨程序,方不至於影響無塵室之潔淨度。其進無塵室之流程。至於搬出則反方向而行,但不須經潔淨程序。
    文本標簽:無塵室

    超淨工作台 淨化工作台 無塵室 無塵車間運轉與維護管理員進出無塵室須予於規範管理外,願物料及設備之進出也必須經過潔淨程序,方不至於影響無塵室之潔淨度。其進無塵室之流程。至於搬出則反方向而行,但不須經潔淨程序。

    原物料及設備進出用無塵室為無塵室等級1000或10000級之房間,工作人員於其室內清潔設備或物料時必須穿著潔淨衣服,所使用之擦拭紙為無 塵紙或不會脫落織毛之無塵布,清潔劑除了使用超純水之外,並加入3~5%濃度的IPA或丙酮化學品,以增強去汙能力,由於IPA及丙酮具揮發性,故此房間 之排氣效果須特別考慮。搬運設備時為免破壞地板支架及地板表麵,必須事先於地板上鋪設已清潔過的不鏽鋼板,作為輔助。

    3.無塵室內用品管理

    無塵室內用品除了進出無塵室用的潔淨衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外,尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。

    潔淨衣之材料以洗後或使用其它處理後仍不會發塵者為基本條件,且其布料為不易燃燒、不起毛,其織法或布料之組織不易通過汙染物和不附著汙染物之 材質,另外經過磨擦不產生靜電或帶電性非常小,洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙或無紡布製成,帽子材質則與潔淨衣 相同,二者在穿戴使用時,除了隻露出眼睛和臉表麵部分外,其它部分均需包覆,在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住,不能留有空隙,頭發亦不能露出來。無塵室 用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑料底,布質部分則采用與潔淨服相同材質即可,鞋子穿著時潔淨衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套 材料除為與潔淨衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂,在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用,手套表麵有粉質時須去除或停 用,原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。

    潔淨衣鞋帽子等須由專人管理,並定期做清洗,清洗須在無塵室內進行。並以純水配合清潔溶劑,並經約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔淨 度等級而定,在高潔淨區為2~3天,其它區域則為五天至一星期,洗滌完畢幹燥後應立即密封。潔淨衣之置放場所亦須為無塵室,備用品或新品 存放櫃內,正使用者則吊掛衣架上,以方便取用。

    桌椅一般以不鏽鋼材質,並需表麵加工處理為之,若不得不使用鍍鋅品或木製品,其表麵須施環氧樹脂加工以防表麵發塵。工作桌最好有 打洞,邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者,椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時,則要準備腳踏環。 桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。

    芯片盒為放置芯片之用,材質以選取擇不易摩損、不發塵易清潔之材質如鐵弗等,至於搬運車則以構造簡單為原則,並忌使用折迭式, 材質仍采用不鏽鋼為宜,車輪為耐磨性高之橡膠輪胎,車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運車時不得急速運推而以緩行為適。筆記本之紙質應采用無塵紙製成 者,且不得使用影印數據,若非萬不得已須使用,則須將文件放在透明之塑料套內或加覆背,同時不可於室內撕破或將紙揉成一團,避免造成環境之汙染。如表5所 示為不同紙張材質發塵量之比較。普通黑板及粉筆當然不能在高無塵室內使用,必要時可在更衣室等無塵室較低等級的區域使用白板。無塵室內不得放置清潔用具, 垃圾桶宜使用塑料製品或不鏽鋼,且置於維修區中的固定位置,桶須覆以蓋子,以利管製,並定期清理。

    真空吸塵器,其功能是在吸取無塵室內地板上、下及設備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚,以達到清潔的目的,由於真空吸塵器在作業時會 有排氣產生,若未經處理,將嚴重影響無塵室之潔淨度和氣流,因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器,以除去塵埃。唯現今之高級無塵室均設有中央式吸 塵係統,並於現場預留吸塵口,故一般之清潔過程均利用此中央係統,以減少使用真空吸塵器時的氣流幹擾,在使用中央式係統時,須注意排氣旦之控製避免使無塵 室內之壓力降低至規定範圍以下。至於真空吸塵器因屬無塵室內專用,故不可移至室外使用,若不用時應置於較低等級的無塵室中,旦每次使用後應清掃吸管、收塵 箱等吸氣係統。

    三、無塵室各係統維護保養管理

    無塵室內係統除了通稱的空調係統之外,製程設備也包括在內,本節將對該二係統之運轉維護及保養做一概略說明。

    無塵室內之生產製造設備注意之重點有三

    1.生產設備之選擇、布置與保養

    a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。

    b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。

    c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成汙染的原因,故應配備過濾裝置。

    d.規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各並以容易清潔為原則。

    e.真空泵等容易產生汙染物的這類設備,應設置在無塵室外麵或回風區,並加裝排氣管線排氣。

    f.設置給水管線、氣體管線和電氣係統時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累汙染物。

    g.生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。

    h.應加強注意室內的溫濕度控製,避免因濕度之不當造成結露生鏽。

    i.當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量於清潔室外進行,並加隔離柵隔離。

    j.對於施工或維修之廠商,應告知進出無塵室之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。

    k.應有無塵室專用工具組,但不得帶出無塵室外使用。

    l.規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。

    2.生產設備之防塵措施

    a.磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。

    b.易產生塵埃之設備,若能的話應布置於風尾地點。

    c.在操作時,盡量減少接觸零件或產品。

    d.不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。

    e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品於進入生產設備前應有過濾設備。

    f.為不使氣體或液體滯留,造成微汙染,故管路配置應有旁路閥之設置。

    3.自動化與無塵化

    a.設立自動化傳送係統,可減少人員方麵所帶來的汙染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。

    b.建立管製項目如進入無塵室人員的資格限定,無塵室作業人員作業規則,無塵室管理規則等,這些規則已在前麵章節敘述,此處不再說明。

    在無塵室之維護管理方麵,可分三部分加以說明

    1.建築物之維護管理

    a.建築物內定期檢查清潔。

    b.地板之清掃管理及損壞更新。

    c.隔間牆及天花板檢查清潔和封補。

    d.窗戶及門之保養等。

    2.環境測定與管理

    無塵室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測,以確實掌握質量,若有數據異常,可立即做緊急處理。

    3.防塵空調設備之維護管理

    a.溫、濕度及塵埃濃度管理,在前麵以述及,唯其量測儀器應做定期校正檢驗,若有設備移動或施工時須做局部測量。

    b.過濾網之管理:定期檢查及更換,表6為各種過濾網之檢查及更換周期。

    c.空氣調節器管理:定期檢查隔板接縫及內部汙染狀況,冷熱盤管是否有腐蝕現象。

    d.送風機之管理:定期檢查送風機運轉狀況。如表7所示為送風機之各項檢查內容及周期。

    e.風管及出風口之管理:檢查風管是否有腐蝕、汙染、塵埃堆積或保溫脫落等。

    f.測試及量測儀器管理:定期校正及保養。

    g.室內壓力管理:連續監視室內壓力記錄,以維持正壓為基準。

    h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析,以調整加藥量等。

    i.無塵室停止運轉再開機要點管理:啟動後立即進行微塵粒子之測試,須無塵室恢複穩定正常時再開始作業。為空調設備應檢查之項目。

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