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    作者:凱時首頁登錄 發表時間:2019-05-08 瀏覽量:348 來源:www.wm-home.com

    無塵潔淨室內一定潔淨度下氣流速度的確定,隨潔淨室用途等具體情況而異,它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業潔淨室而言,影響潔淨度及選擇氣流速度的因素主要是:
    文本標簽:潔淨室

    無塵潔淨室內一定潔淨度下氣流速度的確定,隨潔淨室用途等具體情況而異,它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業潔淨室而言,影響潔淨度及選擇氣流速度的因素主要是:

    1.對潔淨度要求低的潔淨室,有時換氣次數決定於室內排熱的要求。

    2.室內汙染源:建築物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據具體情況而異,變化很大。

    3.經濟性考慮:過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過大往往不必要,亦不一定有效果。

    4.室內氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的幹擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。

    5.末級過濾器的效率:在一定的室內發塵量下,可采用較率的過濾器以降低氣流速度;為節能應考慮采用較率的過濾器,並降低氣流速度,或采用較低效率的過濾器並采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積最小。

    6.自淨時間的控製要求:潔淨室中事故釋放或帶入汙染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔淨度的惡化,恢複到原來潔淨度的自淨時間決定於氣流速度;對自淨時間的控製要求取決於此時間框架內,對產品生產的質量及成品率影響的承受能力。

    FFU係統的應用

    具體情況下的評價

    1.FFU用於老建築物改造成潔淨室時,其綜合經濟性一般往往可取。

    2.潔淨度要求嚴的潔淨室,末級過濾器滿布率100%時,對大的係統采用FFU,當前還是不經濟的;對小係統有意義作具體比較。

    3.對潔淨度要求不甚嚴的潔淨室,末級過濾器滿布率≤40%時對大係統綜合經濟性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU係統的靈活性是重要的,因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU係統已經普遍。

    FFU回風係統與其他方式相比的優點

    優點:

    1.靈活性大,便於改造。

    2.占用建築物空間較少。

    3.潔淨室內空氣壓力大於回風靜壓室,排除靜壓室對潔淨室汙染的可能性。

    缺點:

    1.一般FFU係統由於單位風量的能耗較大,因此潔淨室的冷負荷亦相應增加。

    2.采用DC/EC電機後,單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中係統為低,但已有研究指出,比采用改進後的大型軸流風機的回風係統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其係統的阻力降低的因素。

    3.要求回風道全部阻力、幹表冷器阻力及末級過濾器的阻力,總共應控製在165Pa左右,以滿足運行時大阻力在250Pa以內。因此幹表冷器的傳熱麵積要較大,回風道尺寸亦要較大,多孔地板及格柵等的阻力要小,一般作法是:控製幹表冷器阻力在50Pa左右,回風道阻力在15Pa以內,否則就需要再增設加壓風機係統,這就是降低了FFU係統的綜合優點。

    FFU在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是:

    1.采取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內。

    2.但FFU出口靜壓不能過大,一般采用出口風速成0.38m/s,此時其靜壓一般在250Pa以內。

    3.電動機采用DC/EC,以耗較原交流電機節約近50%,因為小風機所用小容量的交流電機,一般皆為電容分相式或隱極式,其效率僅40%左右,而DC/EC電機的效率可達75~80%;在調速控製上可每台單獨的以過濾器降壓進行控製以節約能耗,但目前投資回收期尚長而未廣泛采用,一般常用分組群控或全部群控。

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